[发明专利]粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途在审
| 申请号： | 202080054165.0 | 申请日： | 2020-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114503237A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | S.舒伯特;D.蔡德勒;G.梅塔利迪斯;H.弗里茨;R.伦克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/12;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 系统 及其 用于 灵活 设置 单独 电流强度 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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