[发明专利]粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途

权利要求书

1.一种粒子束系统，具有：

至少一个粒子源，其设置成产生发散的带电粒子束；

聚光透镜系统，该带电粒子束穿过该聚光透镜系统；

前多透镜阵列，其中该前多透镜阵列具有含中心开口的预计数电极，该带电粒子束穿过该开口，并且其中该前多透镜阵列具有配置在该预计数电极下游的束路径中的前多孔径板，该前多孔径板布置成使得该带电粒子以多种带电单独粒子束形式通过该前多孔径板；

多透镜阵列，其布置在该前多透镜阵列下游的束路径中，其中该多透镜阵列具有含多个开口的多孔径板，该开口由至少一部分带电单独粒子束通过，并且其中该多透镜阵列具有反电极，该反电极具有位于该多孔径板下游的束路径中的中心开口，该反电极基本上由多个单独粒子束穿过；以及

控制器，其设置成向该聚光透镜系统和该前反电极提供可调节的激发，使得该带电粒子能够以远心方式入射在该前多孔径板上。

2.如权利要求1的粒子束系统，其中该控制器设置成设定该单独粒子束的电流强度。

3.如前述权利要求中任一项的粒子束系统，其中该粒子束系统具有微光学单元，该微光学单元包括该多透镜阵列。

4.如权利要求3的粒子束系统，其中该微光学单元包括该前多孔径板。

5.如前述权利要求中任一项的粒子束系统，其中该粒子束系统还具有含中心开口的前辅助电极，该前辅助电极布置在该前反电极下游以及该前多透镜阵列上游的束路径中，并且能够通过该控制器而被提供可调节电压。

6.如前述权利要求中任一项的粒子束系统，其中该粒子束系统还可具有含中心开口的后辅助电极，该后辅助电极布置在该多透镜阵列下游以及该反电极上游的束路径中，并且能够通过该控制器而被提供可调节电压。

7.如权利要求2至3中任一项的粒子束系统，其中该微光学单元具有位于接地电位的框架。

8.如前述权利要求中任一项的粒子束系统，其中该聚光透镜系统具有两个聚光透镜。

9.如权利要求8的粒子束系统，其中两个聚光透镜都为磁性聚光透镜。

10.如权利要求1至8中任一项的粒子束系统，

其中该聚光透镜系统具有磁性聚光透镜和静电聚光透镜，其中该静电聚光透镜配置在该磁性聚光透镜下游的束路径中，以及

其中能够由该控制器驱动的升压电极布置在该磁性聚光透镜与该静电聚光透镜之间，该静电聚光透镜能够由该升压电极激发。

11.如前述权利要求中任一项的粒子束系统，其中该粒子束系统还具有束电流限制多孔径板系统，其包括具有多个开口的束电流限制多孔径板，其中该束电流限制多孔径板系统布置在该前多透镜阵列下游与该多透镜阵列上游的束路径中，并设置成能够插入该束路径。

12.如权利要求11的粒子束系统，其中该开口以圆形和/或环形方式形成。

13.如权利要求11至12中任一项的粒子束系统，其中该束电流限制多孔径板系统具有两个以上的多孔径板，该多孔径板能够基本上相对于彼此平行移动，每个板都具有多个开口，使得对于通过该束电流限制多孔径板系统的单独粒子束，能够调节有效多孔径板开口尺寸。

14.如权利要求13的粒子束系统，其中能够彼此相对移动的该多孔径板的开口具有基本上相同的尺寸，并且具有基本上相同的几何形状。

15.如权利要求14的粒子束系统，其中能够彼此相对移动的该多孔径板的开口为圆形或方形。