[发明专利]一种用于设计半导体制造洁净室系统多级电场除尘系统的方法在审
| 申请号： | 202080030942.8 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN113727783A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 唐万福;赵晓云;王大祥;段志军;邹永安;奚勇 | 申请（专利权）人： | 上海必修福企业管理有限公司 |
| 主分类号： | B03C3/40 | 分类号： | B03C3/40;A61L9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201112 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种用于设计半导体制造洁净室系统多级电场除尘系统的方法，包括如下步骤：选择多级电场除尘系统中电场装置个数n以及各电场装置电源的电压使电场除尘系统总除尘效率(100％‑(100％‑P |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 设计 半导体 制造 洁净室 系统 多级 电场 除尘 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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