[发明专利]用于制备板组件的系统及方法在审
申请号: | 202080025901.X | 申请日: | 2020-01-31 |
公开(公告)号: | CN113950750A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | M·格雷梅尔斯帕赫;R·库伯勒;T·利斯特;A·科特;P·霍勒 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01J9/26;H01L51/56 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 孙涛;毛威 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备包括两个板(1,2)的板组件的方法,两个板至少区段地具有位于它们之间的中间空间(4)和彼此之间的恒定距离(d)和/或被布置成彼此平行,并且在两个板之间布置易熔焊料材料(3,3’)。根据本发明,通过以使得外部空间中的压力高于中间空间(4)中的压力并且在压力差的存在期间焊料材料(3,3’)的温度至少间歇地暂时升高到高于其熔化温度的方式在板之间的中间空间(4)与围绕板的外部空间之间产生压力差,解决了尽可能准确地设定板之间的限定距离的问题。 | ||
搜索关键词: | 用于 制备 组件 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的