[发明专利]用于制备板组件的系统及方法在审
申请号: | 202080025901.X | 申请日: | 2020-01-31 |
公开(公告)号: | CN113950750A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | M·格雷梅尔斯帕赫;R·库伯勒;T·利斯特;A·科特;P·霍勒 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01J9/26;H01L51/56 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 孙涛;毛威 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制备 组件 系统 方法 | ||
本发明涉及一种制备包括两个板(1,2)的板组件的方法,两个板至少区段地具有位于它们之间的中间空间(4)和彼此之间的恒定距离(d)和/或被布置成彼此平行,并且在两个板之间布置易熔焊料材料(3,3’)。根据本发明,通过以使得外部空间中的压力高于中间空间(4)中的压力并且在压力差的存在期间焊料材料(3,3’)的温度至少间歇地暂时升高到高于其熔化温度的方式在板之间的中间空间(4)与围绕板的外部空间之间产生压力差,解决了尽可能准确地设定板之间的限定距离的问题。
背景技术
本发明属于工艺工程、机械工程和电子领域,并且特别有利地适用于制造电气部件。
在一些电子部件(诸如,光伏面板或屏幕电子显示器部件)的制造中,必须以流体密封的方式密封非常平坦的部件或功能介质层,并且由此永久保护它们免受水分或氧气的进入。对应的介质(它可以是例如流体或薄层固体)应具有几十微米的数量级的层厚度,由此特定的要求是层厚度应在表面上尽可能恒定并且应仅具有例如几微米的层厚度差。这种低且明确限定的层厚度对于例如钙钛矿太阳能电池的制备是必要的。
通常,密封发生在两个板之间的中间空间中,并且该空间可以例如通过焊料周向地密封。在许多情况下,使用由玻璃制成的板,但是也可以使用其他材料,尤其是在光波长范围内透明的材料。除了围绕板的周边进行密封之外,板之间的中间空间的流体密封和/或抗降解细分还可以通过焊料来提供。
根据现有技术,通常使用通过浮法玻璃工艺制备的玻璃板。由于该工艺,此类浮法玻璃窗格玻璃具有在十分之几毫米的范围内的波纹度。迄今为止,通过使用玻璃焊料作为密封剂并且通过设定用于密封玻璃窗格玻璃之间的中间空间的温度来实现这种浮法玻璃窗格玻璃之间的中间空间的均匀性,在该温度下,一方面玻璃焊料熔化,另一方面玻璃窗格玻璃软化,使得由于重力的作用,相应的上部窗格玻璃搁置在下部窗格玻璃上,导致以可接受的方式限定小的中间空间。
已知方法的缺点是,在上部玻璃板发生初始变形和在下部玻璃板上进行部分沉积后,必须确保上部板的其余部分进一步粘附到下部板的局部作用的重力稳定地减小,使得在合理的温度下加工时间相对较高。可以通过已知方法实现的中间空间的均匀性对于许多应用是不够的。具体地,对于这些要求,制备厚度小于100微米的非常窄且均匀的中间空间是困难的。
针对前述现有技术的背景,本发明是基于产生一种制备板组件的方法的问题,该方法允许制备在表面上具有非常高的尺寸恒定性的小厚度的中间空间。
发明内容
根据本发明,该目的通过具有一种权利要求1的特征的方法来实现。权利要求2至8呈现了方法的具体实现方式。本发明进一步涉及一种制备根据权利要求9的板组件的设备。权利要求10呈现了该设备的具体实现方式。
因此,本发明涉及一种制备包括两个板的板组件的方法,两个板至少区段地具有它们之间的中间空间和到彼此之间的恒定距离和/或被布置成彼此平行,并且在两个板之间布置易熔焊料材料。通过以使得外部空间中的压力高于板之间的空间中的压力并且在压力差的存在期间焊料材料的温度至少暂时升高到高于其熔化温度或加工温度方式在板之间的中间空间与围绕板的外部空间之间产生压力差来解决该问题。
通过产生压力差,可以生成很大的力,这会导致板之间的中间空间减少。该力可以通过确定压力差的尺寸来控制。当板被水平支撑时,由板上的外部压力生成的压缩力可以增加作用在板的顶部上的重量力。如果在中间空间中引入负压,负压具体是10至900毫巴的值,则由于外部空气压力,压力差可以在0与1巴之间,具体是在10与900毫巴之间。如果另外或单独施加外部气体压力,则压力差可以高达10巴。在这种情况下,所描述的方法的应用需要超压室。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的