[发明专利]用于在处理具有50nm或更小的线距尺寸的图案化材料时避免图案塌陷的包含硼型添加剂的组合物在审
| 申请号： | 202080020797.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN113574460A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | S·奇霍尼;D·勒夫勒;M·布里尔;F·皮龙;L·恩格布莱希特;M·伯格勒;P·维尔克;Y·伯克;V·博伊哥 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;B81C1/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/306;C11D11/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及一种非水性组合物，其包含：(a)有机溶剂，(b)至少一种式I的添加剂：其中R |
||
| 搜索关键词： | 用于 处理 具有 50 nm 尺寸 图案 材料 避免 塌陷 包含 添加剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于巴斯夫欧洲公司，未经巴斯夫欧洲公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080020797.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
