[发明专利]物体定位器装置及装置制造方法在审
| 申请号： | 202080017999.4 | 申请日： | 2020-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN113544587A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | M·斯科尔特斯;J·R·贝耶杰;J·H·E·A·姆吉德尔曼;J·H·A·范德里杰特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物体定位器装置(1)，包括被配置为将物体定位在定位平面中的平台(10)、底架(BF)、被配置为将底架支撑在支撑表面(RED)上的框架支脚(BFF)，以及平台支撑件(20)。平台支撑件包括平台支撑件主体(22)、在垂直于定位平面的方向上将平台与平台支撑件主体彼此连接的第一连接器(21)，以及被配置为在支撑表面上支撑平台支撑件主体的平台支脚(24)。平台支撑件还包括将平台支撑件主体与底架彼此连接的第二连接器(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 定位器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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