[实用新型]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构有效
| 申请号： | 202023292130.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214235484U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;吴清 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 设备 挡板 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏亚电科技有限公司，未经江苏亚电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023292130.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能热风缝口密封机
- 下一篇：一种具有位置感应结构的虚拟现实测试设备
