[实用新型]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，包括：

固定框（1），位于晶圆清洗设备的背板（31）后部，为立方体形，4 面由板材构成，也即具有长度方向的 2 个长度竖直板面（11），宽度方向的 1 个宽度竖直板面（12），高度不同的两个平行的水平板面（13），前端为晶圆清洗设备的背板（31），且背板（31）上开设有开口；

导轨（4），设置在固定框（1）的长度竖直板面（11）的内壁上，与水平面平行；

滑动块（5），设置在导轨（4）上，能够在电机驱动下沿所述导轨（4）运动；

挡板（2），设置在所述滑动块（5），能够在滑动块（5）运动时，从背板（31）上开设的开口伸出或者缩回。

2.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板（2）的板面，以密封所述挡板与背板（31）开口处的间隙。

3.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述宽度竖直板面（12）上设置有通气口（8），以向固定框（1）内通入气体，通入气体后可以使固定框（1）内的水汽排出。

4.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述挡板（2）底部设置有滚轮（6），所述滚轮（6）的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板（32）上设置有轨道（7），所述轨道（7）嵌入滚轮（6）的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。

5.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述滑动块（5）设置在两根螺杆（51）上，电机驱动两根螺杆（51）旋转，从而使所述滑动块（5）运动。

6.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述挡板（2）完全伸出出口时的行程的末端还设置有竖直固定挡块（61），所述挡板（2）伸出出口行程路径的顶端也设置有水平固定挡块（62）。

7.根据权利要求 6 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述竖直固定挡块（61）和水平固定挡块（62）均由两块平行的挡块构成，所述挡板（2）能够伸入两块平行的挡块之间的间隙内。