[实用新型]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构有效

申请号：	202023292130.7	申请日：	2020-12-30
公开（公告）号：	CN214235484U	公开（公告）日：	2021-09-21
发明（设计）人：	钱诚;李刚;吴清	申请（专利权）人：	江苏亚电科技有限公司
主分类号：	B08B13/00	分类号：	B08B13/00;H01L21/67
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	225300 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种清洗设备挡板机构
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【说明书】：

本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。

技术领域

本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

背景技术

晶圆清洗设备通常具有多道工序，比如先进行清洗液清洗再进行清水清洗，如图1 所示，这就必然需要将晶圆在不同的工位上移动，以便进入不同的清洗槽内。运输机构在运输仓室 93 内运动已将晶圆从第一清洗工位 91 运输到第二清洗工位92。由于需要移动晶圆，因此各工位之间不能完全封闭，当清洗槽内进行清洗工作时，就有可能将清洗液水雾或者气体带入临近的工位上，因此需要一种针对晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，包括：

固定框，位于晶圆清洗设备的背板后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面，宽度方向的1个宽度竖直板面，高度不同的两个平行的水平板面，前端为晶圆清洗设备的背板，且背板上开设有开口；

导轨，设置在固定框的长度竖直板面的内壁上，与水平面平行；

滑动块，设置在导轨上，能够在电机驱动下沿所述导轨运动；

挡板，设置在所述滑动块，能够在滑动块运动时，从背板上开设的开口伸出或者缩回。

优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板的板面，以密封所述挡板与背板开口处的间隙。

优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述宽度竖直板面上设置有通气口，以向固定框内通入气体，通入气体后可以使固定框内的水汽排出。

优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述挡板底部设置有滚轮，所述滚轮的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板上设置有轨道，所述轨道嵌入滚轮的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。

优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述滑动块设置在两根螺杆上，电机驱动两根螺杆旋转，从而使所述滑动块运动。