[实用新型]MEMS传感器芯片、麦克风和电子设备有效
| 申请号： | 202023199780.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN213694144U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘松;邱冠勋;周宗燐 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS传感器芯片、麦克风和电子设备。MEMS传感器芯片包括衬底、感应组件和环形保护层，感应组件包括第一环形支撑层、第二环形支撑层、第三环形支撑层、第一振膜、第二振膜和背极板，所述第一环形支撑层设于衬底上，且所述第一环形支撑层、所述第一振膜、第二环形支撑层、背极板、第三环形支撑层以及第二振膜依次层叠设置；所述环形保护层设于感应组件的周侧，且所述环形保护层至少覆盖第一环形支撑层和/或第二环形支撑层和/或第三环形支撑层。如此，可保证或提供第一环形支撑层和/或第二环形支撑层和/或第三环形支撑层的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 芯片 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
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