[实用新型]一种晶圆化学镀治具

摘要

本实用新型公开了一种晶圆化学镀治具，包括底盘，底盘的上端均匀布设有立杆，底盘的每一边均至少开设有一条向对边延展的通槽，底盘的外缘设有侧板，侧板的外侧设有U型架，U型架的下端设有支腿。该治具可以将晶圆放置在底盘上的立杆上，立杆将晶圆顶起，通过提柄将三组底盘内的晶圆放入到化学池中，使得晶圆可以充分的与化学液进行接触，并且支腿支撑在池底，无需操作人员手持操作。