[实用新型]一种晶圆电镀夹具有效
| 申请号： | 202023031739.9 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN214400787U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 倪裕林;徐新志;尹旺;王健忠 | 申请（专利权）人： | 昆山蕴鼎自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李娅 |
| 地址： | 215331 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆电镀夹具，包括底座，底座上固定有操作台，操作台上设置有条形孔，条形孔内滑动设置有限位杆，限位杆上固定有与夹座，夹座上粘接有硅胶垫，操作台上设置有与硅胶垫贴合的晶圆本体。通过四个方向的夹座对晶圆本体进行夹持，可保证前后左右四个正位置的定位稳定，同时，通过定位销连接，便于夹座和硅胶垫的拆分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 夹具 | ||
【主权项】：
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