[实用新型]一种晶圆电镀夹具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆电镀夹具，包括底座，底座上固定有操作台，操作台上设置有条形孔，条形孔内滑动设置有限位杆，限位杆上固定有与夹座，夹座上粘接有硅胶垫，操作台上设置有与硅胶垫贴合的晶圆本体。通过四个方向的夹座对晶圆本体进行夹持，可保证前后左右四个正位置的定位稳定，同时，通过定位销连接，便于夹座和硅胶垫的拆分。

技术领域

本实用新型属于晶圆电镀技术领域，具体为一种晶圆电镀夹具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。

硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料硅晶圆片。

在激光刻时，晶圆需要进行定位，常规的方式都是放入到对应的模具座内，但是，由于晶圆边缘圆滑，且厚度较薄，在加工完成后，不易从模具座内取出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆电镀夹具，以解决对晶圆定位的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆电镀夹具，包括底座，所述底座上固定有操作台，所述操作台上设置有条形孔，所述条形孔内滑动设置有限位杆，所述限位杆上固定有与夹座，所述夹座上粘接有硅胶垫，所述操作台上设置有与硅胶垫贴合的晶圆本体。

优选的，所述底座上固定有电机，电机的转轴上固定有螺纹杆，电机的型号为51K90GU-AF，电机的壳体上通过导线固定有正反转开关，正反转开关的型号为HY2-8，电机通过导线与室内220V电源插排插接通电连接。

优选的，所述操作台上固定嵌入有轴座，所述螺纹杆与轴座转动连接，保证螺纹杆转动的稳定性。

优选的，所述螺纹杆上螺纹设置有螺纹套，螺纹套上铰接有连杆，能够带动夹座进行移动，条形孔的数量和连杆的数量为四个，且均匀分布。

优选的，所述限位杆上固定有安装块，所述连杆上铰接有与安装块滑动插入设置的安装座，安装座的宽度不超过条形孔的宽度，方便取出。

优选的，所述安装座上设置有定位孔，定位孔内滑动插入有定位销，定位销与安装座通过弹簧连接，保证定位销的伸缩复位稳定。

优选的，所述安装块上设置有定位槽，所述定位销与定位槽滑动插入设置，方便安装块与安装座的装配和分离，便于清洗夹座和硅胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过四个方向的夹座对晶圆本体进行夹持，可保证前后左右四个正位置的定位稳定，同时，通过定位销连接，便于夹座和硅胶垫的拆分。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的夹座分布示意图；

图3为本实用新型的a处放大示意图。

图中：1、底座；11、操作台；12、条形孔；13、限位杆；14、夹座；15、硅胶垫；16、晶圆本体；2、电机；21、螺纹杆；22、轴座；3、螺纹套；31、连杆；32、安装座；33、安装块；4、定位孔；41、定位销；42、弹簧；43、定位槽。

具体实施方式

请参阅图1，一种晶圆电镀夹具，包括底座1，底座1上固定有操作台11，操作台11上设置有条形孔12，条形孔12内滑动设置有限位杆13，限位杆13上固定有与夹座14，夹座14上粘接有硅胶垫15，操作台11上设置有与硅胶垫15贴合的晶圆本体16。

请参阅图1，底座1上固定有电机2，电机2的转轴上固定有螺纹杆21，电机2的型号为51K90GU-AF，电机2的壳体上通过导线固定有正反转开关，正反转开关的型号为HY2-8，电机2通过导线与室内220V电源插排插接通电连接。