[实用新型]一种蓝宝石衬底PSS上下片机有效

专利信息
申请号: 202022953223.3 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN213781999U 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 顾伟;王星;王立彦 申请(专利权)人: 东莞伏尔甘自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 代理人: 崔新芬
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其主要对承载有蓝宝石衬底的载盘进行拆盘或装盘,包括有机架、料仓输送组件、取盘机械手组件、旋转工作台组件、螺丝机组件、取片组件和控制系统,控制系统控制料仓输送组件移动至取盘机械手组件处,并通过取盘机械手组件运取料仓输送组件上的蓝宝石载盘运送至旋转工作台组件上,螺丝机组件对旋转工作台组件上的蓝宝石载盘进行上螺丝或者下螺丝,取片组件用于吸取蓝宝石衬底PSS放置在蓝宝石载盘上或取下蓝宝石载盘上的蓝宝石衬底PSS。能够代替人工对蓝宝石载盘进行拆卸螺丝和锁紧螺丝时更为精准,提高了工作效率和产能,还能防止人工操作室对蓝宝石衬底PSS损坏,大幅度降低蓝宝石衬底PSS的损耗,降低成本。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 衬底 pss 下片
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