[实用新型]一种蓝宝石衬底PSS上下片机有效
| 申请号: | 202022953223.3 | 申请日: | 2020-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN213781999U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 顾伟;王星;王立彦 | 申请(专利权)人: | 东莞伏尔甘自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 崔新芬 |
| 地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其主要对承载有蓝宝石衬底的载盘进行拆盘或装盘,包括有机架、料仓输送组件、取盘机械手组件、旋转工作台组件、螺丝机组件、取片组件和控制系统,控制系统控制料仓输送组件移动至取盘机械手组件处,并通过取盘机械手组件运取料仓输送组件上的蓝宝石载盘运送至旋转工作台组件上,螺丝机组件对旋转工作台组件上的蓝宝石载盘进行上螺丝或者下螺丝,取片组件用于吸取蓝宝石衬底PSS放置在蓝宝石载盘上或取下蓝宝石载盘上的蓝宝石衬底PSS。能够代替人工对蓝宝石载盘进行拆卸螺丝和锁紧螺丝时更为精准,提高了工作效率和产能,还能防止人工操作室对蓝宝石衬底PSS损坏,大幅度降低蓝宝石衬底PSS的损耗,降低成本。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 衬底 pss 下片 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





