[实用新型]一种蓝宝石衬底PSS上下片机有效
| 申请号: | 202022953223.3 | 申请日: | 2020-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN213781999U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 顾伟;王星;王立彦 | 申请(专利权)人: | 东莞伏尔甘自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 崔新芬 |
| 地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 衬底 pss 下片 | ||
1.一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其主要对承载有蓝宝石衬底的载盘进行拆盘或装盘,其特征在于,其包括有机架(1)、料仓输送组件(2)、取盘机械手组件(3)、旋转工作台组件(4)、螺丝机组件(5)、取片组件(6)和控制系统(7),所述的料仓输送组件(2)、所述的取盘机械手组件(3)、所述的旋转工作台组件(4)、所述的螺丝机组件(5)、所述的取片组件(6)和所述的控制系统(7)均安装在机架(1)上,且所述的料仓输送组件(2)、所述的螺丝机组件(5)和所述的取片组件(6)绕着所述的旋转工作台组件(4)安装,所述的控制系统(7)控制所述的料仓输送组件(2)移动至所述的取盘机械手组件(3)处,并通过所述的取盘机械手组件(3)运取所述的料仓输送组件(2)上的蓝宝石载盘运送至所述的旋转工作台组件(4)上,所述的螺丝机组件(5)对旋转工作台组件(4)上的蓝宝石载盘进行上螺丝或者下螺丝,所述的取片组件(6)用于吸取蓝宝石衬底PSS放置在蓝宝石载盘上或取下蓝宝石载盘上的蓝宝石衬底PSS。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,取盘机械手组件(3)包括有取盘移动组件(31)和取盘定位组件(32),所述的取盘移动组件(31)和所述的取盘定位组件(32)设置在所述的机架(1)上,所述的取盘移动组件(31)用于取出在盛放于料仓输送组件(2)上的蓝宝石载盘,所述的取盘定位组件(32)用于定位取出的蓝宝石载盘。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的取盘移动组件(31)包括有取盘移动支架(311)、取盘移动驱动件(312)和取盘移动件(313),所述的取盘移动支架(311)设置在所述的机架(1)上,所述的取盘移动驱动件(312)设置在所述的取盘移动支架(311)上,所述的取盘移动件(313)与所述的取盘移动驱动件(312)活动连接。
4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的取盘定位组件(32)包括有定位固定件(321)、定位活动件(322)、定位活动驱动件(323)、和定位抓取组件(324),所述的定位活动件(322)与所述的定位活动驱动件(323)连接,所述的定位活动件(322)滑动连接在所述的取盘移动支架(311)上,所述的定位活动驱动件(323)连接在所述的取盘移动支架(311)上,所述的定位固定件(321)设置在所述的取盘移动支架(311)上并与所述的定位活动件(322)相对设置,所述的定位抓取组件(324)安装在所述的取盘移动支架(311)上且位于所述的定位固定件(321)和所述的定位活动件(322)之间。
5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的定位抓取组件(324)包括有抓取吸盘(3241)和抓取驱动件(3242),所述的抓取驱动件(3242)设置在所述的取盘移动支架(311)上,所述的抓取吸盘(3241)与所述的抓取驱动件(3242)连接。
6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的料仓输送组件(2)包括有料仓(21)、横向料仓运输驱动件(22)、竖向料仓运输驱动件(23)和输送支架(24),所述的输送支架(24)安装在所述的机架(1)上,所述的横向料仓运输驱动件(22)和所述的竖向料仓运输驱动件(23)设置在所述的输送支架(24)上,所述的料仓(21)设置在所述的横向料仓运输驱动件(22)上,所述的竖向料仓运输驱动件(23)位于所述的横向料仓运输驱动件(22)下方。
7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的旋转工作台组件(4)包括有旋转工作台(41)和旋转驱动件(42),所述的旋转驱动件(42)安装在所述的机架(1)上,所述的旋转工作台(41)安装在所述的旋转驱动件(42)上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞伏尔甘自动化设备有限公司,未经东莞伏尔甘自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022953223.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种电控硅油离合器储油腔结构
- 下一篇:一种防触电的警示装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





