[实用新型]一种蓝宝石衬底PSS上下片机有效

专利信息
申请号: 202022953223.3 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN213781999U 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 顾伟;王星;王立彦 申请(专利权)人: 东莞伏尔甘自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 代理人: 崔新芬
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 衬底 pss 下片
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其主要对承载有蓝宝石衬底的载盘进行拆盘或装盘,其特征在于,其包括有机架(1)、料仓输送组件(2)、取盘机械手组件(3)、旋转工作台组件(4)、螺丝机组件(5)、取片组件(6)和控制系统(7),所述的料仓输送组件(2)、所述的取盘机械手组件(3)、所述的旋转工作台组件(4)、所述的螺丝机组件(5)、所述的取片组件(6)和所述的控制系统(7)均安装在机架(1)上,且所述的料仓输送组件(2)、所述的螺丝机组件(5)和所述的取片组件(6)绕着所述的旋转工作台组件(4)安装,所述的控制系统(7)控制所述的料仓输送组件(2)移动至所述的取盘机械手组件(3)处,并通过所述的取盘机械手组件(3)运取所述的料仓输送组件(2)上的蓝宝石载盘运送至所述的旋转工作台组件(4)上,所述的螺丝机组件(5)对旋转工作台组件(4)上的蓝宝石载盘进行上螺丝或者下螺丝,所述的取片组件(6)用于吸取蓝宝石衬底PSS放置在蓝宝石载盘上或取下蓝宝石载盘上的蓝宝石衬底PSS。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,取盘机械手组件(3)包括有取盘移动组件(31)和取盘定位组件(32),所述的取盘移动组件(31)和所述的取盘定位组件(32)设置在所述的机架(1)上,所述的取盘移动组件(31)用于取出在盛放于料仓输送组件(2)上的蓝宝石载盘,所述的取盘定位组件(32)用于定位取出的蓝宝石载盘。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的取盘移动组件(31)包括有取盘移动支架(311)、取盘移动驱动件(312)和取盘移动件(313),所述的取盘移动支架(311)设置在所述的机架(1)上,所述的取盘移动驱动件(312)设置在所述的取盘移动支架(311)上,所述的取盘移动件(313)与所述的取盘移动驱动件(312)活动连接。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的取盘定位组件(32)包括有定位固定件(321)、定位活动件(322)、定位活动驱动件(323)、和定位抓取组件(324),所述的定位活动件(322)与所述的定位活动驱动件(323)连接,所述的定位活动件(322)滑动连接在所述的取盘移动支架(311)上,所述的定位活动驱动件(323)连接在所述的取盘移动支架(311)上,所述的定位固定件(321)设置在所述的取盘移动支架(311)上并与所述的定位活动件(322)相对设置,所述的定位抓取组件(324)安装在所述的取盘移动支架(311)上且位于所述的定位固定件(321)和所述的定位活动件(322)之间。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的定位抓取组件(324)包括有抓取吸盘(3241)和抓取驱动件(3242),所述的抓取驱动件(3242)设置在所述的取盘移动支架(311)上,所述的抓取吸盘(3241)与所述的抓取驱动件(3242)连接。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的料仓输送组件(2)包括有料仓(21)、横向料仓运输驱动件(22)、竖向料仓运输驱动件(23)和输送支架(24),所述的输送支架(24)安装在所述的机架(1)上,所述的横向料仓运输驱动件(22)和所述的竖向料仓运输驱动件(23)设置在所述的输送支架(24)上,所述的料仓(21)设置在所述的横向料仓运输驱动件(22)上,所述的竖向料仓运输驱动件(23)位于所述的横向料仓运输驱动件(22)下方。

7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底PSS上下片机,其特征在于,所述的旋转工作台组件(4)包括有旋转工作台(41)和旋转驱动件(42),所述的旋转驱动件(42)安装在所述的机架(1)上,所述的旋转工作台(41)安装在所述的旋转驱动件(42)上。

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