[实用新型]一种用于半导体设备零部件的阳极氧化装置有效
| 申请号： | 202022949368.6 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN213925079U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 黎纠 | 申请（专利权）人： | 帝京半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/02 | 分类号： | C25D11/02;C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙) 33310 | 代理人： | 夏艳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于半导体设备零部件的阳极氧化装置,属于氧化设备技术领域，其包括包括箱体，所述箱体内部开设有氧化腔，且上部开口，所述氧化腔两侧设置有传动腔，所述传动腔内部设置有第一丝杠，所述传动腔上部设置有第一驱动室，所述第一驱动室内部固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出轴与所述第一丝杠通过联轴器连接，所述第一丝杠外缘螺纹套接有第一滑块，所述第一滑块外缘固定连接有连接板。本实用新型能够灵活地对工件进行夹持，并且适应不同尺寸的工件，无需多次调整，省去了较多工序，提高了工作效率；通过设置的第一丝杠和第一滑块能够方便地调节夹持杆的高度位置，方便工件下深到不同部位，有助于实验数据的采集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体设备 零部件 阳极 氧化 装置 | ||
【主权项】：
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