[实用新型]干式玻璃蚀刻自动化装置有效
| 申请号： | 202022940426.9 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213716838U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 史延锋;史延库 | 申请（专利权）人： | 苏州盟萤电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种干式玻璃蚀刻自动化装置，其包括自上而下依次设置的下电极板、冷却板、绝缘层、底板及升降支撑组件，所述升降支撑组件包括若干支撑PIN及驱动所述支撑PIN相对于所述下电极板升降的驱动机构，所述支撑PIN的上端穿过下电极板并突伸出所述下电极板的上表面，所述支撑PIN分布于所述下电极板的四周及中部，所述支撑PIN的下端穿过底板及真空腔室壁，并与真空腔室外的驱动机构连接，所述支撑PIN的外周设有将真空腔室壁内外进行密封的气密润滑部，所述气密润滑部穿设于绝缘层、底板及真空腔室壁内。如此设置，所述干式玻璃蚀刻自动化装置可适用于薄型玻璃基板，降低了薄型玻璃基板破损的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 蚀刻 自动化 装置 | ||
【主权项】：
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