[实用新型]干式玻璃蚀刻自动化装置

权利要求书

1.一种干式玻璃蚀刻自动化装置，用于对真空腔室内的玻璃基板进行刻蚀，其特征在于：所述干式玻璃蚀刻自动化装置包括自上而下依次设置的下电极板、冷却板、绝缘层、底板及升降支撑组件，所述升降支撑组件包括若干支撑PIN及驱动所述支撑PIN相对于所述下电极板升降的驱动机构，所述支撑PIN的上端穿过下电极板并突伸出所述下电极板的上表面，所述支撑PIN分布于所述下电极板的四周及中部，所述支撑PIN的下端穿过底板及真空腔室壁，并与真空腔室外的驱动机构连接，所述支撑PIN的外周设有将真空腔室壁内外进行密封的气密润滑部，所述气密润滑部穿设于绝缘层、底板及真空腔室壁内。

2.如权利要求1所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述气密润滑部包括容器及设于容器内的全氟聚醚润滑剂。

3.如权利要求2所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述底板与真空腔室壁之间还支撑有支撑部，所述支撑部的截面呈工字型，所述支撑部设于支撑PIN及气密润滑部的外周。

4.如权利要求2所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述支撑PIN的外周套设有真空波纹管，所述真空波纹管位于真空腔室外侧并与真空腔室壁内的气密润滑部连接。

5.如权利要求3所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述冷却板内设有冷却液通道，所述干式玻璃蚀刻自动化装置还包括与所述冷却液通道连通的管道，所述管道所述冷却板下方穿过所述气密润滑部与真空腔室外部连接。

6.如权利要求1所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述驱动机构包括气缸及将所述支撑PIN同步带动的连杆结构。

7.如权利要求1所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述气密润滑部与所述支撑PIN一一对应设置。

8.如权利要求1所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述下电极板为铝板，其上表面镀有Al₂O₃-W-Al₂O₃层。

9.如权利要求3所述的干式玻璃蚀刻自动化装置，其特征在于：所述下电极板的上表面至所述支撑部底部的距离小于330mm。