[实用新型]一种半导体设备用冷却盘装置

摘要

本实用新型为一种半导体设备用冷却盘装置，包括底座，所述底座包括保护壳以及顶盖，所述保护壳包括连接板以及冷却管道，所述冷却管道为螺旋形，所述连接板设有冷却孔，所述冷却管道的一端设有连接件，所述连接件设有连接孔，所述连接孔的两侧设有螺纹孔，所述冷却管道的外壁上设有隔热层，通过连接件连接冷却设备，通过连接件防止冷气泄漏出去，使冷气传输到冷却管道上，通过冷却孔将冷却管道的冷气充分传输到保护壳内部，通过螺旋形的冷却管道对保护壳内部进行充分传输冷气，保证对物料的冷却充分，通过保护壳进行保温，通过顶盖进行封住保护壳，使冷气在保护壳内部充分冷却物料，结构简单，方便工作人员安装。