[实用新型]一种用于半导体材料基板的抛光装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体材料基板的抛光装置，包括抛光台，所述抛光台上端滑动装配有滑动机构，所述滑动机构上端固定装配有龙门架，所述龙门架上端固定装配有抛光装置，所述抛光台左右两端固定装配有夹紧装置，所述抛光台内部开设有斜槽，所述斜槽下端连通有出屑口，所述出屑口下端放置有储屑箱，所述抛光台下端固定装配有支脚；方案中的夹紧装置设置在抛光台内部，让抛光过程中产生的碎屑不会乱溅，直接落在斜槽上，从出屑口滚落到储屑箱中，滑动机构可以让抛光装置左右滑动，方便对准基板，令抛光操作具有更多的可操作性。