[实用新型]一种用于半导体材料基板的抛光装置有效
| 申请号： | 202022834909.0 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN215470345U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州硕芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/06;B24B55/12;B24B47/04;B24B47/20 |
| 代理公司： | 安徽盟友知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34213 | 代理人： | 周荣 |
| 地址： | 215559 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体材料 抛光 装置 | ||
1.一种用于半导体材料基板的抛光装置，其特征在于：包括抛光台(1)，所述抛光台(1)上端滑动装配有滑动机构(4)，所述滑动机构(4)上端固定装配有龙门架(2)，所述龙门架(2)上端固定装配有抛光装置(3)，所述抛光台(1)左右两端固定装配有夹紧装置(5)，所述抛光台(1)内部开设有斜槽(6)，所述斜槽(6)下端连通有出屑口(7)，所述出屑口(7)下端放置有储屑箱(8)，所述抛光台(1)下端固定装配有支脚(9)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料基板的抛光装置，其特征在于：所述抛光装置(3)包括第一气缸(31)，所述第一气缸(31)下端固定装配在龙门架(2)上端中间，所述第一气缸(31)下端插接装配有第一伸缩杆(32)，所述第一伸缩杆(32)下端固定装配有固定板A(34)，所述固定板A(34)上端固定装配有电机(33)，所述电机(33)下端固定装配有抛光盘(35)。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料基板的抛光装置，其特征在于：所述夹紧装置(5)包括第二气缸(51)，所述第二气缸(51)固定装配在抛光台(1)侧面，所述第二气缸(51)内部插接装配有第二伸缩杆(52)，所述第二伸缩杆(52)内端固定装配有固定板B(53)，所述固定板B(53)内端固定装配有夹板(54)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料基板的抛光装置，其特征在于：所述滑动机构(4)包括T字凸台(42)，所述T字凸台(42)下端滑动装配在抛光台(1)上端，所述T字凸台(42)上端固定在龙门架(2)下端，所述T字凸台(42)侧面固定装配有第三伸缩杆(41)，所述第三伸缩杆(41)右端套接装配有第三气缸(43)，所述第三气缸(43)固定装配在抛光台(1)右端。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州硕芯电子科技有限公司，未经苏州硕芯电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022834909.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于物联网的供水检测装置的吸湿机构
- 下一篇：一种标签处理设备
