[实用新型]一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装有效
| 申请号： | 202022716997.4 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN214458289U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张星翔;马洋;张颖 | 申请（专利权）人： | 宁波云涂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 安彦彦 |
| 地址： | 315191 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，属于真空镀膜领域。本实用新型的工装，通过方形孔输入转动力，带动本实用新型的工装进行自转，随着带柄内齿轮的转动，辅助限位加长柄随之转动，直至辅助限位加长柄与设备转架上的限位柱相接触阻止带柄内齿轮的转动，由此带柄内齿轮与工装整体产生相对转动，使所有外齿轮发生自转；外齿轮的自传带动其上的待镀膜工件的自转。本实用新型的工装，夹持工件能够绕设备转架中心、方形杆中心和外齿轮的轴线的三个自由度旋转，使得工件在镀膜过程中能够充分暴露，涂层能够均匀沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用 真空镀膜 设备 自由度 旋转 工装 | ||
【主权项】：
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