[实用新型]一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装

说明书

本实用新型公开了一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，属于真空镀膜领域。本实用新型的工装，通过方形孔输入转动力，带动本实用新型的工装进行自转，随着带柄内齿轮的转动，辅助限位加长柄随之转动，直至辅助限位加长柄与设备转架上的限位柱相接触阻止带柄内齿轮的转动，由此带柄内齿轮与工装整体产生相对转动，使所有外齿轮发生自转；外齿轮的自传带动其上的待镀膜工件的自转。本实用新型的工装，夹持工件能够绕设备转架中心、方形杆中心和外齿轮的轴线的三个自由度旋转，使得工件在镀膜过程中能够充分暴露，涂层能够均匀沉积。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜领域，尤其是一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装。

背景技术

物理气相沉积真空镀膜为近年来新兴起的材料表面处理技术，相对于传统的电镀等表面处理技术有着更优越的膜层性能，并且具有无污染的特点，近年来在各个相关领域开始广泛推行使用。物理气相沉积技术在改善工件耐磨性能、防腐性能以及在声、光、电、磁、热等功能涂层方面均前景广阔。

物理气相沉积真空镀膜生产的过程中，需要使用工装装置对工件进行有效夹持。工装装置一方面要保证工件能够均匀的沉积涂层，另一方面也要实现工装对工件夹持的数量最大化，尽最大可能保证经济效益。此外，由于生产过程中的真空、高温环境，工装难以复杂化和电子化，以用简单的机械结构实现对工件的易装易卸为最优。

一般通过设备内部转架带动夹持其上的工件转动，周期性暴露工件表面在有效镀膜区域来实现涂层的均匀沉积，工件旋转自由度越多，复杂结构上沉积的涂层均匀性越好。常规转架上的工件旋转一般为一个或两个自由度，对于结构复杂的工件来说，某些方向的表面难以得到有效暴露，导致涂层沉积不均匀，进而影响到涂层功能的实现。因此，研究能够夹持工件实现多自由度旋转的工装，实现对某些复杂结构工件的高效、高质量生产是十分必要可行的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有真空镀膜工装自由度低的缺点，提供一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案予以实现：

一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，包括上旋转盘和下旋转盘，上旋转盘和下旋转盘之间设有带柄内齿轮，带柄内齿轮的齿轮侧设有若干个与之啮合的外齿轮；

上旋转盘、下旋转盘内侧均设有若干个连接杆，所述连接杆上分别设有通孔，连接杆交汇在相应的旋转盘中心，交汇处设有方形孔，所述方形孔用于与真空镀膜设备转架相连；

所述外齿轮的两端分别设有圆柱台，上旋转盘、下旋转盘上设有安装孔，所述圆柱台位于对应的安装孔内实现对外齿轮的限位；

当通过方形孔输入转动力时，外齿轮能够在带柄内齿轮内啮合转动；

带柄内齿轮的侧面上设有手柄。

进一步的，带柄内齿轮的两个端面上分别设有一圈滑动槽；

上旋转盘和下旋转盘上分别设有定位孔，上旋转盘的定位孔与滑动槽之间设有定位珠，下旋转盘的定位孔与滑动槽之间设有定位珠。

进一步的，滑动槽的横截面为半圆状；

定位珠的端面的横截面为半圆状。

进一步的，所述连接杆中部有螺栓孔，对应同心位置设有内部支撑，

固定螺栓穿过两侧螺栓孔和内部支撑与螺母旋合，将上旋转盘、下旋转盘、带柄内齿轮和外齿轮固定为一体。

进一步的，所述手柄上通过固定销连接有辅助限位加长柄。

进一步的，所述圆柱台上设有方形销孔。与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：