[实用新型]一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装

权利要求书

1.一种适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，包括上旋转盘(1)和下旋转盘(2)，上旋转盘(1)和下旋转盘(2)之间设有带柄内齿轮(3)，带柄内齿轮(3)的齿轮侧设有若干个与之啮合的外齿轮(4)；

上旋转盘(1)、下旋转盘(2)内侧均设有若干个连接杆，所述连接杆上分别设有通孔，连接杆交汇在相应的旋转盘中心，交汇处设有方形孔，所述方形孔用于与真空镀膜设备转架相连；

所述外齿轮(4)的两端分别设有圆柱台，上旋转盘(1)、下旋转盘(2)上设有安装孔，所述圆柱台位于对应的安装孔内实现对外齿轮(4)的限位；

当通过方形孔输入转动力时，外齿轮(4)能够在带柄内齿轮(3)内啮合转动；

带柄内齿轮(3)的侧面上设有手柄。

2.根据权利要求1所述的适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，带柄内齿轮(3)的两个端面上分别设有一圈滑动槽(31)；

上旋转盘(1)和下旋转盘(2)上分别设有定位孔，上旋转盘(1)的定位孔与滑动槽(31)之间设有定位珠(54)，下旋转盘(2)的定位孔与滑动槽之间设有定位珠。

3.根据权利要求2所述的适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，滑动槽(31)的横截面为半圆状；

定位珠(54)的端面的横截面为半圆状。

4.根据权利要求1所述的适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，所述连接杆中部有螺栓孔，对应同心位置设有内部支撑(51)，固定螺栓(52)穿过两侧螺栓孔和内部支撑(51)与螺母(53)旋合，将上旋转盘(1)、下旋转盘(2)、带柄内齿轮(3)和外齿轮(4)固定为一体。

5.根据权利要求1所述的适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，所述手柄上通过固定销(7)连接有辅助限位加长柄(6)。

6.根据权利要求1所述的适用真空镀膜设备的多自由度旋转工装，其特征在于，所述圆柱台上设有方形销孔。