[实用新型]一种移动弧源电弧离子沉积设备有效
| 申请号： | 202022356055.X | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213680867U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 富之柢;王俊虎;王娜;贾中华 | 申请（专利权）人： | 富之柢 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543 | 代理人： | 白鹤 |
| 地址： | 100072 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及电弧离子沉积技术领域，尤其是涉及一种移动弧源电弧离子沉积设备。移动弧源电弧离子沉积设备包括真空室、移动平台和弧源；所述移动平台设置在真空室内，所述弧源设置在移动平台上。通过将弧源设置在移动平台上，能够实现弧源的移动，通过一个弧源能够实现工件不同位置的离子沉积，相对于现有多个弧源的方案，减少了弧源的使用，降低了生成成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动 电弧 离子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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