[实用新型]一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构有效
| 申请号： | 202022189499.9 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213670789U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;童建;吴清 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/06 | 分类号： | B08B3/06;H01L21/67;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，包括箱体、框架和清洗池，所述箱体的内部中间固定安装有清洗池，清洗池的内部顶端设有滚筒，滚筒的表面转动安装有挡板，滚筒的两端固定安装安装有轴杆，轴杆转动安装在框架的内部，所述框架的顶端一侧固定安装有第一马达，第一马达的输出端通过皮带转动连接轴杆，所述框架的顶端中间固定连接在液压缸的输出端，且液压缸固定安装在箱体的外部顶端。本实用新型利用液压缸升起或者降下滚筒，将装有晶圆的滚筒在清洗池内进行进出，而滚筒可由马达转动，这样可让滚筒内部的晶圆能清洗多面，在滚筒升起后由一侧的风扇对其进行吹风，使其快速风干，从而达到了便于工作人员使用的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 架式 清洗 备用 内部 辅助 翻滚 机构 | ||
【主权项】：
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