[实用新型]一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构

权利要求书

1.一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，包括箱体(2)、框架(6)和清洗池(15)，其特征在于：所述箱体(2)的内部中间固定安装有清洗池(15)，清洗池(15)的内部顶端设有滚筒(8)，滚筒(8)的表面转动安装有挡板(14)，滚筒(8)的两端固定安装安装有轴杆(7)，轴杆(7)转动安装在框架(6)的内部，所述框架(6)的顶端一侧固定安装有第一马达(4)，第一马达(4)的输出端通过皮带(5)转动连接轴杆(7)，所述框架(6)的顶端中间固定连接在液压缸(1)的输出端，且液压缸(1)固定安装在箱体(2)的外部顶端。

2.根据权利要求1所述一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，其特征在于：所述箱体(2)的内部一侧嵌入安装有第一风扇(3)，箱体(2)的内部另一侧嵌入安装有第二风扇(16)。

3.根据权利要求1所述一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，其特征在于：所述清洗池(15)的内部中间固定安装有网板(13)，清洗池(15)的内部底端中间设有扇叶(10)，扇叶(10)固定安装在第二马达(9)的输出端，且第二马达(9)固定安装在箱体(2)的内部底端。

4.根据权利要求3所述一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，其特征在于：所述清洗池(15)的内部底端一侧连接安装有管道(11)，管道(11)的内部固定安装有阀门(12)。

5.根据权利要求4所述一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，其特征在于：所述箱体(2)的外部前表面转动安装有箱门(17)，箱门(17)的中间嵌入安装有可视窗。

6.根据权利要求1所述一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，其特征在于：所述挡板(14)和滚筒(8)均采用镂孔结构设计。