[实用新型]HVPE密闭式手动加镓装置有效
| 申请号： | 202022168536.8 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213327939U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李枝旺;王亮 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技（铜陵）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B29/40;C30B23/02;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人： | 吴晨亮 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了HVPE密闭式手动加镓装置，它包括：镓容器（1）；镓舟（2），所述镓舟位于镓容器下方；第一手动阀门（3），所述第一手动阀门连通于镓容器底部；第二手动阀门（4），所述第二手动阀门分别与第一手动阀门和镓舟连通；第一气动阀（5），所述第一气动阀一端接入在第一手动阀门和第二手动阀门之间，另一端与外界连通。本实用新型的有益效果是利用控制系统，实现密闭人工加镓，能很好的去除加镓装置的空气和加镓过程中空气的进入。大大改善了因加镓污染腔体的环境。更好地保证反应腔反应环境同时提高了产品的良率，减小了不必要的生产成本。而且所用装置的结构简单消耗件少，更有效地降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | hvpe 密闭式 手动 装置 | ||
【主权项】：
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