[实用新型]HVPE密闭式手动加镓装置有效
| 申请号: | 202022168536.8 | 申请日: | 2020-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN213327939U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 李枝旺;王亮 | 申请(专利权)人: | 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B29/40;C30B23/02;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司: | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人: | 吴晨亮 |
| 地址: | 244000 安徽省铜陵*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | hvpe 密闭式 手动 装置 | ||
1.HVPE密闭式手动加镓装置,其特征是:它包括:镓容器(1);镓舟(2),所述镓舟位于镓容器下方;第一手动阀门(3),所述第一手动阀门连通于镓容器底部;第二手动阀门(4),所述第二手动阀门分别与第一手动阀门和镓舟连通;第一气动阀(5),所述第一气动阀一端接入在第一手动阀门和第二手动阀门之间,另一端与外界连通。
2.如权利要求1所述的HVPE密闭式手动加镓装置,其特征是:还包括第二气动阀(6),所述第二气动阀与镓舟连通。
3.如权利要求1所述的HVPE密闭式手动加镓装置,其特征是:所述镓容器(1)上连通有PN2管道。
4.如权利要求3所述的HVPE密闭式手动加镓装置,其特征是:所述PN2管道上接入有阀。
5.如权利要求3或4所述的HVPE密闭式手动加镓装置,其特征是:所述PN2管道有两个。
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