[实用新型]一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置有效
| 申请号： | 202022119223.3 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN212991113U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴思 | 申请（专利权）人： | 南京南大光电工程研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，涉及半导体生产装置技术领域，针对现有的生产不稳定的问题，现提出如下方案，其包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，本实用新型结构简单，使用方便，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时可以改变喷气箱出气的位置，保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 led 外延 生长 设备 伸缩 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京南大光电工程研究院有限公司，未经南京南大光电工程研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022119223.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于紧急手术的背囊
- 下一篇：一种地表监测点保护盖预埋装置
