[实用新型]一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置

说明书

本实用新型公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，涉及半导体生产装置技术领域，针对现有的生产不稳定的问题，现提出如下方案，其包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，本实用新型结构简单，使用方便，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时可以改变喷气箱出气的位置，保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产装置技术领域，尤其涉及一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置。

背景技术

外延生长是指在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段，外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同，还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶，从而大大提高器件设计的灵活性和器件的性能。

现有的装置一般都是将装置放置到指定的位置上固定，在喷气时，可能气流不完全能由人为控制，使得局部的外延可能有一定的误差，影响产品的质量。

实用新型内容

本实用新型提出的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，解决了生产不稳定的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，所述旋转杆的顶部转动连接有位于分隔板上方的放置板，所述放置板内设置有多个加热丝，所述第一电机的外侧设置有多个与生产箱固定连接的第二电机，所述第二电机的输出端通过齿轮组连接有第二变速箱，所述第二变速箱通过齿轮组固定套接有丝杆，所述丝杆的外壁螺旋传动配合有移动杆，且移动杆的顶端与放置板转动连接连接，所述生产箱的上侧通过弹簧铰链转动连接有开启盖，所述开启盖的一侧连接有位于放置板上方的生产装置。

优选的，所述生产装置包括与开启盖固定连接的功能块，所述功能块的上侧固定连接有与开启盖固定连接的进气管，且进气管的另一端连接有软管，所述软管的一端连接有喷气箱，所述功能块内固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端通过联轴器固定连接有与功能块转动连接的转动轴，所述转动轴的外壁固定套接有支撑块，所述支撑块的一侧固定连接有固定筒，所述固定筒内固定连接有的伸缩杆，所述伸缩杆的输出端固定连接有与固定筒套接的移动筒，所述移动筒与喷气箱固定连接。

优选的，所述功能块内设置有容纳槽，所述支撑块位于容纳槽内，所述功能块上固定连接有与转动轴转动连接的稳定块。

优选的，所述喷气箱内固定连接有散气板，所述散气板和喷气箱的一侧均设置有多个通气孔。

优选的，所述移动杆的顶部滚动连接有多个滚珠，滚珠与放置板滚动连接。

优选的，所述开启盖的一侧固定连接有限定圈，所述限定圈与生产箱滑动调节。

本实用新型的有益效果：

1：通过齿轮组合变速箱的传递，可以实现较大的传动比，实现微量的调节，同时各个装置之间的相互配合，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时经过多个装置的配合，可以改变喷气箱出气的位置，两者相互配合，可以保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。

2：通过可以旋转的开启盖，可以方便的取出喷气箱，进而方便对内部各个装置的维护和清理，保证后续工作的进行，降低工人的劳动强度，保证生产的进行。

附图说明