[实用新型]一种真空镀膜用集成腔室有效
| 申请号： | 202022071818.6 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN213507163U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 康宗海 | 申请（专利权）人： | 深圳市荣凯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体，所述集成腔室本体的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板，且隔板的中部开设有传输口，所述隔板将集成腔室本体分隔为预热室和冷却室，所述集成腔室本体内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体一侧外壁的伺服电机、与伺服电机输出轴连接的丝杆。本实用新型第一水泵将水箱中的冷水泵入到U型冷凝槽内，对镀膜板上的工件进行冷却处理，并且第二水泵又将U型冷凝槽内冷却水泵回至水箱内，这样水冷的效果好，而且不会造成水资源的浪费，能够实现水资源的循环利用，由于设置了控制器和抽气泵，能够精准的保证真空环境，工人操作起来简单快捷，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 集成 | ||
【主权项】：
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