[实用新型]一种真空镀膜用集成腔室

权利要求书

1.一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体(1)，所述集成腔室本体(1)的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板(2)，且隔板(2)的中部开设有传输口(3)，所述隔板(2)将集成腔室本体(1)分隔为预热室和冷却室，其特征在于，所述集成腔室本体(1)内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体(1)一侧外壁的伺服电机(4)、与伺服电机(4)输出轴连接的丝杆(5)、套接在丝杆(5)上的密封螺纹轴承(6)和焊接在密封螺纹轴承(6)下部侧壁的镀膜板(7)，所述镀膜板(7)上设有两个电动夹持机构，且两个电动夹持机构均包括焊接在镀膜板(7)顶部外壁的安装块(8)和通过螺栓安装在安装块(8)侧壁的微型气缸(9)，所述镀膜板(7)的顶部放置有工件(10)，所述镀膜板(7)的顶部留有空腔，且空腔内安装有等距离分布的电热丝(11)，所述集成腔室本体(1)的底部内壁开设有滑槽(13)，且镀膜板(7)的底部外壁焊接有与滑槽(13)相适配的限位滑杆(12)，所述集成腔室本体(1)的另一侧内壁依次通过螺栓安装有第一水泵(14)和第二水泵(15)，且集成腔室本体(1)的另一侧外壁焊接有水箱(16)，所述镀膜板(7)内开设有U型冷凝槽，第一水泵(14)的出水端通过第一螺纹软管与U型冷凝槽的一端连通，且第二水泵(15)的抽水端通过第二螺纹软管与U型冷凝槽的另一端连通，所述集成腔室本体(1)的顶部通过螺栓安装有抽气泵(18)，且集成腔室本体(1)的一侧外壁通过螺栓安装有控制器(17)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述密封螺纹轴承(6)的圆心开设有与丝杆(5)外螺纹相适配的内螺纹孔，且密封螺纹轴承(6)与传输口(3)相适配。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，两个所述微型气缸(9)输出轴相互靠近的一端均焊接有压板，且两个压板相互靠近的一侧外壁分别与工件(10)的两侧外壁接触。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述丝杆(5)通过两个密封轴承分别与集成腔室本体(1)的两侧内壁连接，且限位滑杆(12)的底端外壁与滑槽(13)的底部内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述第一水泵(14)的抽水端和第二水泵(15)的出水端均通过管道与水箱(16)连通，水箱(16)的顶部设有加注口，抽气泵(18)的抽气端与集成腔室本体(1)的内部连通，且两个管道和抽气泵(18)的抽气端均通过密封圈与集成腔室本体(1)的内壁连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述伺服电机(4)通过导线连接有倒顺开关，倒顺开关通过导线与控制器(17)电性连接，且集成腔室本体(1)的一边外壁通过合页铰接有密封门(19)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述微型气缸(9)、电热丝(11)、第一水泵(14)、第二水泵(15)和抽气泵(18)均通过导线与控制器(17)电性连接，且控制器(17)通过导线连接至电源。