[实用新型]一种真空镀膜用集成腔室

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体，所述集成腔室本体的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板，且隔板的中部开设有传输口，所述隔板将集成腔室本体分隔为预热室和冷却室，所述集成腔室本体内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体一侧外壁的伺服电机、与伺服电机输出轴连接的丝杆。本实用新型第一水泵将水箱中的冷水泵入到U型冷凝槽内，对镀膜板上的工件进行冷却处理，并且第二水泵又将U型冷凝槽内冷却水泵回至水箱内，这样水冷的效果好，而且不会造成水资源的浪费，能够实现水资源的循环利用，由于设置了控制器和抽气泵，能够精准的保证真空环境，工人操作起来简单快捷，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜用集成腔室。

背景技术

经检索，中国专利公开号为CN207828407U的专利，公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述开口的密封门。通过将预热室和工艺室集成一体腔室，提高了制造工艺性，装配与维修便捷；密封门结构简单重量小，便于装卸与维护，降低采购成本；摆动隔热板结构简单，占用空间小，减小工艺室的尺寸空间，降低了工艺气体的用量，方便控制压力，两端通过旋转轴连接固定，装卸与维护方便，运行可靠。

上述专利存在以下不足：一方面上述专利中，水冷的效果不佳，而且水资源浪费严重，无法实现水资源的循环利用；另一方面工件放置的不够稳定，导致在传输过程中易发生倾倒现象，而且无法精准的保证真空环境。因此，我们提出了一种真空镀膜用集成腔室。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜用集成腔室。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体，所述集成腔室本体的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板，且隔板的中部开设有传输口，所述隔板将集成腔室本体分隔为预热室和冷却室，所述集成腔室本体内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体一侧外壁的伺服电机、与伺服电机输出轴连接的丝杆、套接在丝杆上的密封螺纹轴承和焊接在密封螺纹轴承下部侧壁的镀膜板，所述镀膜板上设有两个电动夹持机构，且两个电动夹持机构均包括焊接在镀膜板顶部外壁的安装块和通过螺栓安装在安装块侧壁的微型气缸，所述镀膜板的顶部放置有工件，所述镀膜板的顶部留有空腔，且空腔内安装有等距离分布的电热丝，所述集成腔室本体的底部内壁开设有滑槽，且镀膜板的底部外壁焊接有与滑槽相适配的限位滑杆，所述集成腔室本体的另一侧内壁依次通过螺栓安装有第一水泵和第二水泵，且集成腔室本体的另一侧外壁焊接有水箱，所述镀膜板内开设有U型冷凝槽，第一水泵的出水端通过第一螺纹软管与U型冷凝槽的一端连通，且第二水泵的抽水端通过第二螺纹软管与U型冷凝槽的另一端连通，所述集成腔室本体的顶部通过螺栓安装有抽气泵，且集成腔室本体的一侧外壁通过螺栓安装有控制器。

优选的，所述密封螺纹轴承的圆心开设有与丝杆外螺纹相适配的内螺纹孔，且密封螺纹轴承与传输口相适配。

优选的，两个所述微型气缸输出轴相互靠近的一端均焊接有压板，且两个压板相互靠近的一侧外壁分别与工件的两侧外壁接触。

优选的，所述丝杆通过两个密封轴承分别与集成腔室本体的两侧内壁连接，且限位滑杆的底端外壁与滑槽的底部内壁滑动连接。

优选的，所述第一水泵的抽水端和第二水泵的出水端均通过管道与水箱连通，水箱的顶部设有加注口，抽气泵的抽气端与集成腔室本体的内部连通，且两个管道和抽气泵的抽气端均通过密封圈与集成腔室本体的内壁连接。

优选的，所述伺服电机通过导线连接有倒顺开关，倒顺开关通过导线与控制器电性连接，且集成腔室本体的一边外壁通过合页铰接有密封门。