[实用新型]一种自动上下料的半导体测试设备有效
申请号: | 202022003567.8 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN211785946U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 曹锐;杜建;裴敬;邓标华 | 申请(专利权)人: | 武汉精鸿电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 唐勇 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请涉及一种自动上下料的半导体测试设备,属于半导体测试设备技术领域,包括:测试箱,其至少设有一个顶部开口的测试腔,测试腔内设有测试板,测试腔的顶部设有上盖;上下料机械手,其包括机械手及驱动机械手沿设定方向运动的驱动机构,机械手位于测试箱的上方。本申请的半导体测试设备在半导体芯片测试过程中,利用上下料机械手实现半导体芯片的自动安装和拆卸,实现了半导体芯片自动化测试。上下料机械手集成在测试箱上,结构紧凑,占地面积小、节省空间;上下料机械手通过驱动机构驱动机械手沿设定方向运动,能够精确抓取和安装半导体芯片。同时在对半导体芯片进行半导体测试时无需插拔测试板,提高了测试板的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 上下 半导体 测试 设备 | ||
【主权项】:
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