[实用新型]一种可自动开关门的半导体老化测试设备有效
| 申请号： | 202022001829.7 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN211785945U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 曹锐;杜建;裴敬;邓标华 | 申请（专利权）人： | 武汉精鸿电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 邱云雷 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种可自动开关门的半导体老化测试设备，其包括柜体、一水平布置的老化测试板、至少一个测试核心板和驱动机构；所述柜体具有两个互相独立的温区；老化测试板设于其中一所述温区内；测试核心板设于另一所述温区内；以及，所述老化测试板与所述测试核心板信号连接，且所述柜体顶部转动连接有用于启闭所述老化测试板所在的温区，以对老化测试板进行上下料的上开门；驱动机构与所述上开门相连，并用于驱动所述上开门转动。本申请能解决相关技术中采用人工打开或关闭老化箱门的方式进行上下料，不仅增加了作业人员的工作量，而且不能匹配自动化测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动开关 半导体 老化 测试 设备 | ||
【主权项】：
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