[实用新型]一种探测器芯片的外延片切割装置有效

专利信息
申请号: 202021741034.3 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN213124407U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 黄祥恩;陈春明;匡嘉乐 申请(专利权)人: 桂林芯隆科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/304;H01L31/18;B23K26/02
代理公司: 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 代理人: 张学平
地址: 541004 广西壮族自治区桂林*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型公开了一种探测器芯片的外延片切割装置,所述第一横杆用于固定所述基座,所述第一横杆通过滑动可以调节长度,能够固定不同尺寸的所述基座,通过所述压紧部直接与外延片接触,两个所述弹簧对所述第三横杆施加载荷,使得所述压紧部能够紧贴并压紧外延片,保证外延片在进行切割时不会晃动,保证了切割工序的顺利进行,所述四个角框用于固定外延片,保证外延片在切割时不会移动,保证了切割效果,所述第四横杆能够在所述垂直滑轨上滑动,便于所述激光发射器调整高度,保证了激光切割的效果,通过上述的措施提高了使用人员的体验感。
搜索关键词: 一种 探测器 芯片 外延 切割 装置
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