[实用新型]一种探测器芯片的外延片切割装置有效
| 申请号: | 202021741034.3 | 申请日: | 2020-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN213124407U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 黄祥恩;陈春明;匡嘉乐 | 申请(专利权)人: | 桂林芯隆科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/304;H01L31/18;B23K26/02 |
| 代理公司: | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人: | 张学平 |
| 地址: | 541004 广西壮族自治区桂林*** | 国省代码: | 广西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 探测器 芯片 外延 切割 装置 | ||
1.一种探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
包括箱体和四个固定座,四个所述固定座分别与所述箱体可拆卸连接,并均位于所述箱体的顶部,且四个所述固定座呈正方形排列,每个所述固定座包括第一横杆、支撑座、竖杆、第二横杆、弹簧连接板、两个弹簧、第三横杆和压紧部,所述支撑座与所述箱体可拆卸连接,并位于所述箱体的顶部,所述第一横杆与所述支撑座滑动连接,所述竖杆与每个所述支撑座可拆卸连接,并位于所述支撑座的顶部,所述第二横杆与每个所述竖杆可拆卸连接,并位于所述竖杆的侧面,所述弹簧连接板与每个所述竖杆可拆卸连接,并位于所述竖杆的底部,所述弹簧的一端与每个所述弹簧连接板固定连接,并位于所述弹簧连接板的底部,所述弹簧的另一端与所述第三横杆固定连接,并位于所述第三横杆的顶部,所述压紧部与所述第三横杆可拆卸连接,并位于所述第三横杆的底部。
2.如权利要求1所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述探测器芯片的外延片切割装置还包括基座,所述基座与所述箱体固定连接,并位于所述箱体的顶部。
3.如权利要求2所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述基座具有四个固定槽,所述固定槽与所述第一横杆可拆卸连接,并位于所述基座的侧面。
4.如权利要求3所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述基座还具有四个角框,四个所述角框位于所述基座的顶部。
5.如权利要求1所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述探测器芯片的外延片切割装置还包括垂直滑轨,所述垂直滑轨与所述箱体固定连接,并位于所述箱体的顶部。
6.如权利要求5所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述探测器芯片的外延片切割装置还包括第四横杆,所述第四横杆与所述垂直滑轨滑动连接,并位于所述箱体的内底壁的上方。
7.如权利要求6所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,
所述探测器芯片的外延片切割装置还包括激光发射器,所述激光发射器与所述第四横杆可拆卸连接,并位于所述第四横杆的底部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





