[实用新型]一种探测器芯片的外延片切割装置有效

专利信息
申请号: 202021741034.3 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN213124407U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 黄祥恩;陈春明;匡嘉乐 申请(专利权)人: 桂林芯隆科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/304;H01L31/18;B23K26/02
代理公司: 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 代理人: 张学平
地址: 541004 广西壮族自治区桂林*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 探测器 芯片 外延 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

包括箱体和四个固定座,四个所述固定座分别与所述箱体可拆卸连接,并均位于所述箱体的顶部,且四个所述固定座呈正方形排列,每个所述固定座包括第一横杆、支撑座、竖杆、第二横杆、弹簧连接板、两个弹簧、第三横杆和压紧部,所述支撑座与所述箱体可拆卸连接,并位于所述箱体的顶部,所述第一横杆与所述支撑座滑动连接,所述竖杆与每个所述支撑座可拆卸连接,并位于所述支撑座的顶部,所述第二横杆与每个所述竖杆可拆卸连接,并位于所述竖杆的侧面,所述弹簧连接板与每个所述竖杆可拆卸连接,并位于所述竖杆的底部,所述弹簧的一端与每个所述弹簧连接板固定连接,并位于所述弹簧连接板的底部,所述弹簧的另一端与所述第三横杆固定连接,并位于所述第三横杆的顶部,所述压紧部与所述第三横杆可拆卸连接,并位于所述第三横杆的底部。

2.如权利要求1所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述探测器芯片的外延片切割装置还包括基座,所述基座与所述箱体固定连接,并位于所述箱体的顶部。

3.如权利要求2所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述基座具有四个固定槽,所述固定槽与所述第一横杆可拆卸连接,并位于所述基座的侧面。

4.如权利要求3所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述基座还具有四个角框,四个所述角框位于所述基座的顶部。

5.如权利要求1所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述探测器芯片的外延片切割装置还包括垂直滑轨,所述垂直滑轨与所述箱体固定连接,并位于所述箱体的顶部。

6.如权利要求5所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述探测器芯片的外延片切割装置还包括第四横杆,所述第四横杆与所述垂直滑轨滑动连接,并位于所述箱体的内底壁的上方。

7.如权利要求6所述的探测器芯片的外延片切割装置,其特征在于,

所述探测器芯片的外延片切割装置还包括激光发射器,所述激光发射器与所述第四横杆可拆卸连接,并位于所述第四横杆的底部。

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