[实用新型]一种物理气相传输法氮化铝晶体生长保温炉有效
| 申请号： | 202021451522.0 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN213266786U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150028 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种物理气相传输法氮化铝晶体生长保温炉，石英管上部安装坩埚托盘，坩埚托盘上部安装坩埚，坩埚内为氮化铝原料粉体，坩埚上部安装籽晶支架，籽晶支架上部安装第一晶片压环、第二晶片压环，第一晶片压环、第二晶片压环上部为原料籽晶，保温贴位于坩埚外部，保温贴上的线圈为感应线圈。本实用新型能在2400℃长时间稳定工作，氮化铝晶体生长的温度均匀性好，线圈保证恒温状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 相传 氮化 晶体生长 保温 | ||
【主权项】：
暂无信息
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