[实用新型]一种物理气相传输法氮化铝晶体生长保温炉有效
| 申请号： | 202021451522.0 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN213266786U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150028 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 物理 相传 氮化 晶体生长 保温 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理气相传输法氮化铝晶体生长保温炉，其特征是：石英管(1)上部安装坩埚托盘(2)，坩埚托盘(2)上部安装坩埚(3)，坩埚内为氮化铝原料粉体(4)，坩埚(3)上部安装籽晶支架(5)，籽晶支架(5)上部安装第一晶片压环(7)、第二晶片压环(8)，第一晶片压环(7)、第二晶片压环(8)上部为原料籽晶(6)，保温贴(9)位于坩埚(3)外部，保温贴(9)上的线圈为感应线圈。
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