[实用新型]一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块有效
| 申请号： | 202021384578.9 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212513175U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 胡华才;李良 | 申请（专利权）人： | 河源市星通时频电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/688 | 分类号： | G01F1/688 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 何兵;饶盛添 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块，包括差分放大电路模块和气体流量传感器，所述差分放大电路模块用于对气体流量传感器检测到的气体流量电压信号进行差分放大处理，差分放大电路模块的第一输入端口和第二输入端口分别连接气体流量传感器的第一输出端口和第二输出端口，差分放大电路模块的输出端Vout连接MCU。上述基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块，通过差分放大电路模块对气体流量传感器的输出电压进行处理，并放大后输出至MCU中处理，既能对属于差模信号的气体流量传感器的两个输出电压进行放大，亦能对属于共模信号的温度变化造成输出电压同步变化进行抑制，有效避免了外部温度环境对气体流量传感器的测量影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 气体 流量传感器 流量 检测 模块 | ||
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- 2020-07-14 - 2021-02-09 - G01F1/688
- 本实用新型揭示了一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器，包括底座、外壳以及MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片固定在所述底座上，所述外壳同样设置在所述底座上，且所述外壳罩住所述MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片通过金线与所述底座的引脚邦定，所述外壳上设置有两个对流孔便于气流流过所述MEMS热线式气流传感器芯片的表面。本实用新型由于采用了MEMS热线式气体流量传感器，具备体积小、能耗低、响应快等特点，利用对流孔通道与芯片表面相切设计，可以减小回风干扰以及减小芯片对气流通道阻碍的影响，从而在保证高性能的同时实现了小尺寸封装。
- 一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块-202021384578.9
- 胡华才;李良 - 河源市星通时频电子有限公司
- 2020-07-14 - 2021-02-09 - G01F1/688
- 本实用新型涉及一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块，包括差分放大电路模块和气体流量传感器，所述差分放大电路模块用于对气体流量传感器检测到的气体流量电压信号进行差分放大处理，差分放大电路模块的第一输入端口和第二输入端口分别连接气体流量传感器的第一输出端口和第二输出端口，差分放大电路模块的输出端Vout连接MCU。上述基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块，通过差分放大电路模块对气体流量传感器的输出电压进行处理，并放大后输出至MCU中处理，既能对属于差模信号的气体流量传感器的两个输出电压进行放大，亦能对属于共模信号的温度变化造成输出电压同步变化进行抑制，有效避免了外部温度环境对气体流量传感器的测量影响。
- 一种基于温度传感的液体流量监测装置-202020856994.8
- 许朋朋;焦弯;曹宏亮 - 杭州东骏科技有限公司
- 2020-05-21 - 2021-02-02 - G01F1/688
- 本实用新型公开了一种基于温度传感的液体流量监测装置，包括信号采集单元，所述信号采集单元通过信号处理电路的处理后，而后该信号通过信号传送电路传递至图像显示装置进行显示；所述信号采集单元包括若干固定于被测管道外侧的温度传感器，所述温度传感器采用磁阻三端差分型电路连接；所述温度传感器用于检测管道内流动液体的温度。本实用新型利用管道内液体的高温物理特性，通过改进信号采集、处理装置，实现实时检测、精确监测、使用简便、降低成本等目的，从而有效解决难以监测液体流动时发生断流、堵塞等问题。
- 热堆式气体质量流量传感器及其制备方法-201910542657.3
- 王家畴;王珊珊;李昕欣 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2019-06-21 - 2020-08-28 - G01F1/688
- 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：衬底；与衬底相连接的带类“非”字状槽的介质膜，且介质膜与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件；至少两个感测元件；单晶硅热偶臂的冷端与衬底之间呈“三明治”状热沉结构。通过引入类“非”字状介质膜以及其下表面的单晶硅热偶臂的结构，即单晶硅热偶臂的热端悬空于隔热腔体上，单晶硅热偶臂的冷端与中间介质层及衬底面面接触的热沉结构，实现了单晶硅‑金属热偶对与衬底的物理隔离，减少了本发明的衬底散热，提高了传感器的灵敏度；热沉结构，增大了单晶硅热偶臂冷端的散热性能，增大了单晶硅‑金属热偶对冷端和热端温度差，从而缩短传感器的响应时间、提高传感器的量程范围。
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