[实用新型]一种集成电路制备用光刻机

摘要

本实用新型公开了一种集成电路制备用光刻机，具体涉及光刻机技术领域，包括机架，所述机架内部的一侧设有输送机构，所述输送机构包括两个并排布置的传输带，两个所述传输带之间的外侧设有若干个载物台，若干个所述载物台两端的底部分别与两个传输带固定连接，所述载物台上端的中部开设有载物槽，所述载物台的底部开设有底槽，所述底槽内部的一端转动连接有转动块，所述输送机构的内部设有推动机构所述推动机构包括两个套板。本实用新型通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便。