[实用新型]一种集成电路制备用光刻机

权利要求书

1.一种集成电路制备用光刻机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内部的一侧设有输送机构(2)，所述输送机构(2)包括两个并排布置的传输带(21)，两个所述传输带(21)之间的外侧设有若干个载物台(22)，若干个所述载物台(22)两端的底部分别与两个传输带(21)固定连接，所述载物台(22)上端的中部开设有载物槽(23)，所述载物台(22)的底部开设有底槽(24)，所述底槽(24)内部的一端转动连接有转动块(25)，所述输送机构(2)的内部设有推动机构(3)所述推动机构(3)包括两个套板(31)，两个所述套板(31)的两端分别与机架(1)的前后两侧固定连接，两个所述套板(31)之间设有插板(32)，所述插板(32)的两端分别活动插接在两个套板(31)的中部，所述插板(32)上方的一端固定连接有与转动块(25)对应的推杆(33)，所述机架(1)内部的另一侧设有光刻机(5)，所述输送机构(2)的一侧设有传动机构(4)，所述机架(1)的下方设有减振机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述传动机构(4)包括安装架(41)，所述安装架(41)的上端转动连接有转盘(42)，所述转盘(42)一侧的外缘处转动连接有第一连杆(43)，所述第一连杆(43)的一端转动连接有第二连杆(44)，所述第二连杆(44)的上端与插板(32)的底端固定连接，所述机架(1)的底部固定安装有驱动电机(45)，所述驱动电机(45)的输出轴通过带传动与转盘(42)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述输送机构(2)的上方设有远离光刻机(5)一侧的放置筒(6)，所述放置筒(6)的后端与机架(1)的内侧壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述放置筒(6)的一侧设有远离光刻机(5)一侧的滚筒(7)，所述滚筒(7)的两端分别与机架(1)的前后两侧转动连接，所述滚筒(7)的外侧固定套设有硅胶(71)。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述减振机构(8)包括底板(81)，所述底板(81)上端的四周均固定连接有斜杆(82)，所述斜杆(82)上端的外侧活动套设有套杆(83)，所述套杆(83)的上端与机架(1)的底端铰接。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述斜杆(82)的外侧套设有位于套杆(83)下部一侧的弹簧(84)。

7.根据权利要求5所述的一种集成电路制备用光刻机，其特征在于：所述底板(81)的底端固定安装有若干个福马轮(9)。