[实用新型]一种集成电路制备用光刻机

说明书

本实用新型公开了一种集成电路制备用光刻机，具体涉及光刻机技术领域，包括机架，所述机架内部的一侧设有输送机构，所述输送机构包括两个并排布置的传输带，两个所述传输带之间的外侧设有若干个载物台，若干个所述载物台两端的底部分别与两个传输带固定连接，所述载物台上端的中部开设有载物槽，所述载物台的底部开设有底槽，所述底槽内部的一端转动连接有转动块，所述输送机构的内部设有推动机构所述推动机构包括两个套板。本实用新型通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，本实用涉及一种集成电路制备用光刻机。

背景技术

光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的核心设备，光刻即是将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，光刻机主要包括了曝光系统和对准系统两个部分，制造难度极大，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，全世界只有少数几家公司掌握了核心技术，价格也极其昂贵。

现有的光刻机在送入硅片时，通常是利用取片装置或机械臂逐片取料送料，这种方式的制造成本较高，结构较为复杂，其制造组装都十分不便，并且在维护运输时，不具有减振效果，易被损坏。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种集成电路制备用光刻机，本实用新型所要解决的技术问题是：现有的光刻机在送入硅片时，通常是利用取片装置或机械臂逐片取料送料，这种方式的制造成本较高，结构较为复杂，其制造组装都十分不便，并且在维护运输时，不具有减振效果，易被损坏。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路制备用光刻机，包括机架，所述机架内部的一侧设有输送机构，所述输送机构包括两个并排布置的传输带，两个所述传输带之间的外侧设有若干个载物台，若干个所述载物台两端的底部分别与两个传输带固定连接，所述载物台上端的中部开设有载物槽，所述载物台的底部开设有底槽，所述底槽内部的一端转动连接有转动块，所述输送机构的内部设有推动机构所述推动机构包括两个套板，两个所述套板的两端分别与机架的前后两侧固定连接，两个所述套板之间设有插板，所述插板的两端分别活动插接在两个套板的中部，所述插板上方的一端固定连接有与转动块对应的推杆，所述机架内部的另一侧设有光刻机，所述输送机构的一侧设有传动机构，所述机架的下方设有减振机构。

通过输送机构、推动机构、传动机构的设置，在插板来回往复移动的过程中，能够间歇地推动载物台向右侧移动，从而实现了硅片的间歇送料，结构简单，制造成本低，安装方便。

在一个优选的实施方式中，所述传动机构包括安装架，所述安装架的上端转动连接有转盘，所述转盘一侧的外缘处转动连接有第一连杆，所述第一连杆的一端转动连接有第二连杆，所述第二连杆的上端与插板的底端固定连接，所述机架的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过带传动与转盘传动连接。

在一个优选的实施方式中，所述输送机构的上方设有远离光刻机一侧的放置筒，所述放置筒的后端与机架的内侧壁固定连接。

在一个优选的实施方式中，所述放置筒的一侧设有远离光刻机一侧的滚筒，所述滚筒的两端分别与机架的前后两侧转动连接，所述滚筒的外侧固定套设有硅胶。

在一个优选的实施方式中，所述减振机构包括底板，所述底板上端的四周均固定连接有斜杆，所述斜杆上端的外侧活动套设有套杆，所述套杆的上端与机架的底端铰接。

在一个优选的实施方式中，所述斜杆的外侧套设有位于套杆下部一侧的弹簧。

在一个优选的实施方式中，所述底板的底端固定安装有若干个福马轮。

本实用新型的技术效果和优点：