[实用新型]一种MEMS压力传感器充油芯体有效
| 申请号： | 202021071699.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN212409938U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 王小平;曹万;李凡亮;王红明;施涛;吴登峰;李兵 | 申请（专利权）人： | 武汉飞恩微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L1/18;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及压力传感器技术领域，且公开了一种MEMS压力传感器充油芯体，包括上盖、底座和敏感组件；所述上盖的下端与底座密封连接，所述底座和上盖构成密封腔体，所述密封腔体内填充有检测介质；所述底座上且位于密封腔体内设有敏感组件。该MEMS压力传感器充油芯体，采用硅弹性膜片和半导体电阻与信号标定模块组成的芯片，外部无需设置信号处理电路，引线互连少、结构简单、成本低、产品可靠性高，便于生产，并且半导体电阻和信号标定模块位于不同的平面，并且信号标定模块位于硅弹性膜片的四周，避免硅弹性膜片的应力变化影响到信号标定模块，导致信号标定模块中的线路受损的风险，有利于保证精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 充油芯体 | ||
【主权项】：
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