[实用新型]一种化学气相沉积炉的辅助进气装置

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置。化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括：炉体本体；抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽气泵之间；加热底座，所述加热底座设置在所述炉体本体的底部内壁上；真空泵，所述真空泵设置在所述炉体本体的顶部；放置平台，所述放置平台固定安装在所述炉体本体的一侧。本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置具有可以对气体进行混合，且混合效果好，进而提高反应效果的优点。