[实用新型]一种电子束蒸发台有效
| 申请号： | 202021013114.7 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212223086U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 马溢华 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束蒸发台，包括箱体、旋转装置、坩埚和电子枪，所述箱体为内部具有真空腔室的腔体，所述旋转装置枢转安装于腔体的顶部，所述旋转装置放置有基片，所述坩埚设于旋转装置的下方，所述坩埚设置有多个，所述坩埚放置有靶材，所述电子枪设于腔体内，所述电子枪可对靶材施加高温，通过设置旋转装置使腔体内可以同时放置多个基片，在相同的腔体体积下本实用新型可以放置更多的基片，且可以通过电子枪对靶材通过电子束进行蒸发，使基片可以实现不同厚度的镀膜以及不同材质的镀膜，且不多材质的镀膜可以同时进行；且通过在相对体积的腔体内设置旋转装置，可以合理优化出合适的空间，又能满足工艺要求，产能要求，维护还方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 | ||
【主权项】：
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