[实用新型]一种电子束蒸发台有效
| 申请号： | 202021013114.7 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212223086U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 马溢华 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 | ||
1.一种电子束蒸发台，其特征在于,包括：
箱体(1)，所述箱体(1)为内部具有真空腔室的腔体(11)；
旋转装置，所述旋转装置枢转安装于腔体(11)的顶部，所述旋转装置放置有基片；
坩埚(4)，所述坩埚(4)设于旋转装置的下方，所述坩埚(4)设置有多个，所述坩埚(4)放置有靶材；
电子枪(5)，所述电子枪(5)设于腔体(11)内，所述电子枪(5)可对靶材施加高温。
2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述电子枪(5)设于腔体(11)的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述旋转装置包括旋转电机(20)以及设于旋转电机(20)的基座(2)，所述基座(2)设有多个间隔设置的固定器(21)，所述基片放置于固定器(21)。
4.根据权利要求3所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述固定器(21)的外围设有行星盘(3)。
5.根据权利要求3所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述固定器(21)呈弧形状。
6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述坩埚(4)放置有不同金属材料。
7.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述腔体设有开口(12)，所述开口(12)枢转安装有开关门(13)。
8.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台，其特征在于，所述箱体(1)的一侧还设有控制装置。
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