[实用新型]一种载板

摘要

本实用新型提供了一种载板，包括：载板主体和垫片，垫片的材质包括玻璃材质；载板主体的一面设置有至少一个承载凹槽，垫片设置在承载凹槽的底部，且垫片的厚度小于承载凹槽的深度，垫片背离承载凹槽的底部的一面用于承载硅片。本实用新型实施例中，在载板主体的承载凹槽底部设置用于与硅片接触的垫片，可以避免硅片与承载凹槽的底部直接接触，由于垫片的材质包括玻璃材质，其材质致密，对气体的吸附较小，从而降低了在对硅片进行镀膜时释放的气体量，进而降低了对硅片的污染。另外，玻璃材质的垫片的表面光滑，降低了对硅片的磨损。